JBO竟博金融界2024年9月18日消息，天眼查知识产权信息显示，广东汇成真空科技股份有限公司申请一项名为“一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备“，公开号CN7.4，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明涉及磁控溅射镀铜技术领域，本发明公开了一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备，包括支架、镀膜辊机构和第二轴承，所述支架的内顶部固定有第一固定架和第二固定架，所述第一连接轴贯穿第一固定架和第二固定架，所述第二圆齿轮啮合连接在第一圆齿轮的顶部。该复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备，向环形进液通道通入冷却液后，冷却液顺着方形输液管道流到冷却管道内，冷却液在冷却管道与镀膜辊筒的内壁之间流动，镀膜辊筒的散热效果好，且冷却管道呈螺旋状等间距分布在冷却筒上，每个冷却管道内的冷却液温度相差不大，保证冷却效果均匀，避免出现越流到后面的冷却液温度越高而导致散热不均的问题。
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